電子工業(yè)用超純水設(shè)備是采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級處理等方法，將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設(shè)備;是電子廠生產(chǎn)用超純水制備不可缺少的裝置。

1、電子工業(yè)用超純水設(shè)備工藝流程

電子工業(yè)用超純水設(shè)備的常用工藝流程有以下幾種：

（1）離子交換方式

原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→陽樹脂過濾床→陰樹脂過濾床→陰陽樹脂混床→微孔過濾器→用水點

（2）雙級反滲透方式

原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透 →PH調(diào)節(jié)→中間水箱→二級反滲透→純水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點

（3）EDI方式

原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透主機→中間水箱→中間水泵→EDI系統(tǒng)→微孔過濾器→用水點 

超純水制造技術(shù)的發(fā)展極大地推動了半導(dǎo)體和電子工業(yè)的技術(shù)進度。同時半導(dǎo)體、電子工業(yè)的迅速發(fā)展促進了超純水制造技術(shù)和設(shè)備的發(fā)展。 

2、電子工業(yè)用超純水設(shè)備的應(yīng)用領(lǐng)域

（1）半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水。

（2）超純材料和超純化學(xué)試劑勾兌用超純水。

（3）實驗室和中試車間用超純水。

（4）汽車、家電表面拋光處理。

（5）光電子產(chǎn)品。

（6）其他高科技精微產(chǎn)品。